采用磁透镜进行聚焦成像。如果被测试样磁性较强,轻则干扰成像,重则被测试样粉末被吸附到镜头上,损坏仪器。
理论上,磁性是物质的一种属性,任何物质都有磁性。因此要求试样完全没有磁性是不可能的,我们只能要求其磁性小于某一范围。如果是热发射sem磁性要求要低一些,如果是场发射sem,则要求就要严格的多。比如铁,钴,镍为铁系元素,其化合物磁性较强,因而一般不能直接测,所以要将有磁性的材料进行消磁处理就可以了。
SEM所用的是能谱仪,精度不高,只能分析表面几十nm的深度范围,你用SEM做能谱时Ca,O元素都明显打出来了吗,另外你的材料里本身有没有S元素,含量如何,如果含量较少也可能打的不清晰。最后一点,你SEM时样品的衬底用的什么?会不会是衬底峰将S元素的峰掩盖 了扫描电镜能谱分析通过激发原子发射特征X射线来确定成份,只能测试材料表面,根据电压不同测试的厚度不同,且轻元素是测试不了的,不记得是Be还是B之前的元素了,反之从C开始都能测试到,准确性很差。欢迎分享,转载请注明来源:夏雨云
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