你好,请问SEM的放大倍数和分辨率是什么关系?谢谢

你好,请问SEM的放大倍数和分辨率是什么关系?谢谢,第1张

SEM仪器能区分清2个点之间的最小距离就是这台仪器的最高分辨率,分辨率越高,从图像上就可能可以看出更多细致的东西;

而放大倍数是指图像长度与真实观察长度的比值,片面的追求高放大倍数并没有什么实际的意义,因为它的最大放大倍数定义为:有效放大倍数=眼睛分辨率/电镜分辨率。

图像的清晰度是亮度对比度概念的综合,清晰的图像在肉眼可识别的微小尺度范围内,亮暗反差鲜明。扫描电镜加速电压高可以获得电子光学系统的高分辨能力,可高倍更清晰。

扩展资料:

所谓QVGA液晶技术,就是在液晶屏幕上输出的分辨率是240×320的液晶输出方式。这个分辨率其实和屏幕本身的大小并没有关系。比如说,若2.1英寸液晶显示屏幕可以显示240×320分辨率的图像,就叫做“QVGA 2.1英寸液晶显示屏”;

如果3.8英寸液晶显示屏幕可以显示240×320的图像,就叫做“QVGA 3.8英寸液晶显示屏”,以上两种情况虽然具有相同的分辨率,但是由于尺寸的不同实际的视觉效果也不同,一般来说屏幕小的一个画面自然也会细腻一些。

参考资料来源:百度百科-分辨率

主要影响因素

扫描电子束斑直径

一般认为在理想的情况下,扫描电镜的分辨率不可能小于扫描电子束斑直径,故束斑直径越小,电镜的分辨本领越高。束斑直径主要取决于电子光学系统(电子枪等)

2 入射电子束在样品中的扩展效应

例如不同的入射电子能量导致作用区域不同,高加速电压时,入射电子能量高,作用深度大,不同深度的信号叠加,无法清晰地表征材料最表面细节;低加速电压时,入射电了能量低,作用深度浅,提高了空间分辨率,。

3.成像所用信号种类

也是主要与信号本身的能量和信号取样的区域范围,以二次电子为调制信号和以背散射电子就不一样,后者分辨率低于前者。

此外,例如信噪比、磁场条件,机械振动引起的束流漂移都有影响。

扫描电镜是高能电子散射固体材料,可获得许多特征信号!

微观成像是扫描电镜基本功能,要求高分辨,so可为其他特征信号分析提供精确导航!

sem一般标配se探测器,用se信号获得高分辨像,且se信号可以充分代表扫描电镜电子光学性能。

why

se

not

other?

比靠斯:在电子束样品作用区,可能只有se取样面积与电子束斑尺寸最接近,且对其尺寸敏感!

敏感到啥程度?

例如样品是黄金,se1的取样面积和束斑面积相同。

bse也是常用成像信号,但对于黄金样品,电子探针束斑直径1nm

2nm,其空间分辨率没有差别。其信号取样范围直径和电子穿透深度相近,大多情况,其分辨率和加速电压相关较多。

总结:提到扫描电镜分辨率,大概就是在说这台电镜的性能,用se成像分辨率是最为精确的表达,主要影响因素为末级电子探针束斑直径和样品材质。


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