电子扫描显微镜(SEM)的工作原理???

电子扫描显微镜(SEM)的工作原理???,第1张

SEM通过电子来使样本放大50万倍,相当于将1毫米放大到500米。同时,SEM也可以分析样品的组成元素。SEM产生电子束撞击样品原子的电子层,产生X射线,释放不同程度的能力,从而判断原子的种类。这项技术也被称为X射线微探技术,对于分析枪击痕迹非常有用。

Pulsed RF GDS和SEM都是表征材料的常用手段,Pulsed RF GDS除了可独立进行样品表征外,还可以为SEM制备样品。

最近,日本的Ken Shimizu教授在出版的书中阐述了发射SEM的研究进展。表明适当使用Pulsed RF GDS制备样品表面可获得表面有价值的形貌细节。


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