SEM/EDS是扫描电子显微镜和X-射线能量色散谱仪的简称,两者组合使用,功能非常强大,既能观察微区的形貌又能对微区进行成分分析,在各类分析工作中被广泛运用。
EDS mapping时间就长的多了,尤其是如果想得到比较确定的数据的话,一个线扫就可以耗费半个小时。EDS mapping的分辨率不仅取决于束斑尺寸,由于收集时间比较长,样品漂移的影响更大,所以比eels mapping 差不少。
SEM TEM 都是主要用来分析形貌。他两相比较TEM的分辨率要高于SEM。TEM给出的是一个平面图,可以告诉你样品的形貌特这,尤其是孔材料用TEM分析最好。SEM是分析表面形貌结构的,给出的是立体图,对观察棒状,球状,等等材料材料有很好的视觉效果。EDS是分析成分的,一般是配套于TEM仪器上。它分析的是样品表面面某个小的部分的元素组成,不能代表样品整体组成。你当然可以这么做,只是误差比较大。实际一般情况我们只需要知道相对量就好了,并不需要这么精确的数值。
如果确实需要精确数值,那需要标定,毕竟不同元素的响应值区别还是很大的。
实际上,你的ZSM-5的硅铝比就能验证,SEM数值跟化学法数值差距还是很大的;但这并不妨碍很多人直接用SEM数据表征他们样品的硅铝比
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