用afm测出的粗糙度跟用sem做出的厚度两者之间有什么差别

用afm测出的粗糙度跟用sem做出的厚度两者之间有什么差别,第1张

粗糙组和厚度是完全两个概念,二者之间没有直接的联系和差别。

AFM测的粗糙度是材料的表面形貌特征。

而你SEM做出来的厚度,只是表征材料厚度的,和表面粗糙度没有联系

业内有两种主流方法:

其一,是Cola Test,就是用一定直径的钢球,滚动摩擦被检测工件的表面,得到一组基材、涂层的同心圆,然后用显微镜测量尺寸,通过公式计算得出涂层厚度。这种方法为有损检测,但是比较准确

其二,采用X射线衍射的方法(XRF),测量涂层厚度。这种方法无损、快速,准确度也可以


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