sem光阑对中什么意思

限制透镜或光学系统装置光孔的(如带孔的板)。光阑光圈快门。在做扫描电子显微镜（SEM）测试时，科学指南针检测平台工作人员在与很多同学沟通中了解到，好多同学对SEM测试不太了解，针对此，科学指南针检测平台团队组织相关同事对网上海量知识进行整理。从电子枪阴极发出的电子束，经聚光镜及物镜会聚成极细的电子束（0.00025微米-25微米），在扫描线圈的作用下，电子束在样品表面作扫描，激发出二次电子和背散射电子等信号，被二次电子检测器或背散射电子检测器接收处理后在显象管上形成衬度图象。二次电子像和背反射电子反映样品表面微观形貌特征。而利用特征X射线则可以分析样品微区化学成分。

为解决问题，有些镜头会干脆将覆盖率加大，如用于APS-C的镜头，可能本来能盖过全幅，但为保持画质而牺牲了边缘画面。所以，APS-C的镜头多不建议用在全幅机上。就算可以，也会有严重的四角失光或边缘像散。另一种像散则是由于镜头的质量问题，如曲面不均匀，这就有如人眼的散光问题；或镜片组没有对准中轴。不过这都是旧时代的生产技术问题，现在已不多见。

当光学系统存在较大的像散时，像面一般也很弯曲，只有当子午和弧矢像面处于高斯像面二侧时，可勉强认为是平像面光学系统。但因像系由弥散圆形成，是模糊不清的。

当光学系统的像散校正得很好并且用细光束成像时，物平面上各点都有一个清晰的像点，但它们往往仍处于一个弯曲的像面上，在用平面来接收时仍不能同时清晰。通常把消像散时的清晰像面称为珀兹伐曲面，其弯曲程度称为珀兹伐弯曲。

所以，只有同时校正好像散和珀兹伐弯曲，才能使大的物平面用细光束成像时有一个平的清晰像面。若同时校正好宽光束的球差和彗差，则可获得大孔径大视场时的清晰像平面。

一般而论，透镜的像散随孔径光阑位置而异，并随透镜形状的不同而异,但当孔径光阑与薄透镜重合时,只要焦距不变，像散即为常值，与形状无关。消像散系统一般由正、负透镜适当组合而成。珀兹伐弯曲也只有用正、负光焦度分离的方法才能校正。

消除方法: 通过复杂的透镜组合来消除。

消像散器(anastigmator): 在电子显微镜中，用于校正轴向像散的电子光学部件。

单个折射球面的无球差点

一般情况下，单个折射球面成像存在球差，但存在三个无球差点，物体位于这三个点时，不产生球差。

当L=0时，L’=0，S1=0这表明：物点与球面顶点重合时不产生球差；

当sinI - sinI1 = 0，即I =I1 = 0时，S1=0。表明物点位于球面球心时，不产生球差。这时L = L’ = r。

不管孔径角U多大，sinU1/sinU和L/L1始终为常数，故不产生球差。

这一对共轭点称为不晕点，或齐明点。

利用不晕点的无球差特性，可以设计特殊的不晕透镜。

慧差

彗差是轴外点以宽光束成像时所产生的像差之一，它是由轴外球差引起的。

子午彗差：轴外球差使上下光线相对于主光线失去对称

弧矢慧差

弧矢彗差：具有同一孔径角的前后光线经折射后，交点也不交在主光线上。前后光线的交点到主光线的垂轴距离即为弧矢彗差

彗差是轴外垂轴像差。一般上下或前后光线的交点不交于主光线上，存在彗差，也不交于高斯像面上。

上下(前后)光线的交点到高斯像面的轴向距离为子午(弧矢)场曲

二者之差称为宽光束像散

彗差是视场和孔径的函数：

同一孔径不同视场的彗差大小不同；

同一视场不同孔径的彗差也不同；

因此，为全面了解彗差的情况，必须计算不同视场不同孔径的光线的光路。

上面的分析表明：光阑在球面前时产生负的彗差。

如果将孔阑移至球心，则主光线与辅轴重合，上下光线对称于主光线，则不产生彗差。

光阑位于球心之后，同样由于轴外负球差，使轴外光束失对称，这时上下光线的交点交于主光线之上，产生正彗差。

由此可见：彗差与光阑位置有关。因此，合理选择光阑位置可以减小彗差的影响，改善光学系统的成像质量。

像散

将入瞳缩得很小，只让沿主光线的细光束通过光学系统。

根据轴外细光束的光路计算可知：轴外细光束也不能成完善像，而是形成两条相互垂直的短焦线----子午焦线和弧矢焦线----轴外点的子午像和弧矢像。

子午像和弧矢像之间沿光束轴(主光线)方向的距离定义为像散。像散是用沿光轴方向度量的。

像散产生的原因

通过光学系统后的细光束所对应的波面变成非球面波，在两主截面内的曲率中心不同，而聚焦成子午像和弧矢像。

轴外点波面到达球面后，上、下、前后发生折射有时间差。

像散使得轴外物点的像变成在空间相距一定距离的、相互垂直的两条短焦线，而在其它截面上形成椭圆或圆形弥散斑。

像散严重时，会严重影响轴外物点的成像清晰度，因此，大视场光学系统不管相对孔径多大，都必须校正像散。

像散与光阑位置有关，光阑位于球心时，像散为零。

由于子午像面和弧矢像面是对称于光轴的回转曲面，当光学系统有较大视场时，将使平面物体上各点不能同时成像清晰。

中间清晰，则边缘模糊，反之亦然。

畸变是由于主光线的球差引起：主光线通过系统后不能与第二近轴光线重合，实际像与理想像的大小不一致。

畸变虽不影响成像清晰度，但使像变形。

正弦差

大视场和大孔径的光学系统: 上述五种单色像差同时存在

小视场光学系统：像散、场曲与畸变很小,  只需考虑球差、彗差（和位置色差）。

小视场光学系统的彗差比较简单,  一般用正弦差表示即可

正弦差表示小视场光学系统以宽光束成像时的不对称性。

色差

光学系统通常都是对白光或复色光物体成像，由于材料的色散

轴上点白光成像，形成按色光波长由短到长、像点离透镜由近及远地排列在光轴上，这种现象就是位置色差。

轴上点成像为一彩色弥散斑，影响成像清晰度，因此，一般成像系统都必须校正位置色差。

位置色差的计算

要计算位置色差，必须首先确定消色差谱线，即对哪两个波长消色差。对于目视系统，一般对F光和C光校正色差，对D（或d或e）光校正单色像差。

倍率色差

系统校正位置色差后，两色光像点重合，可认为两色光像面也重合。对于轴外点而言，因为,则因不同色光焦距不同，放大率也不同，故轴外物体有不同像高。

光学系统对不同色光的放大率差异，称为倍率色差。

倍率色差的存在，使轴外点各色光的像不重合，严重时，使边缘像形成彩色弥散斑，直接影响轴外物体的成像清晰度。

倍率色差随视场的增大而严重，大视场光学系统必须校正倍率色差。

通常只对两种色光在某一视场校正倍率色差。

波色差

物体以白光成像，经系统后，由于各色光的像差不同，对应的波面变形程度也不同。用两种色光(如F光和C光)实际波面之间的偏差来度量。

---