放大5万倍
工作距离 11mm
ETD : E-T型二次电子探测器
Spot,束斑大小控制参数
成像模式:二次电子像
2μm 比例尺 scale
FEI 是公司名称 后边是sem型号
一般来说,束斑小的分辨率高。但束斑小相应的束流也小,转化为成像信号的电子也少,而统计噪音是固定的。当信号值低于噪音的3倍时,将无法识别信号代表的信息。信噪比是限制成像分辨率的一个重要基本因素。特殊情况也有大束斑分辨率高的,例如100倍,用最大束斑,就比最小束斑分辨率高。因为在相同的扫描区域,最小的束斑扫描步距太大,很多地方漏扫了,看起来图像边缘轮廓反而很差。
因此束斑尺寸和放大倍数协调才会获得最佳分辨率。
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