谁能告诉我电镜SEM图上下面的这些英文和数据是表示什么意思,厚度么?

谁能告诉我电镜SEM图上下面的这些英文和数据是表示什么意思,厚度么?,第1张

20KV 加速电压

放大5万倍

工作距离 11mm

ETD : E-T型二次电子探测器

Spot,束斑大小控制参数

成像模式:二次电子像

2μm 比例尺 scale

FEI 是公司名称 后边是sem型号

一般来说,束斑小的分辨率高。但束斑小相应的束流也小,转化为成像信号的电子也少,而统计噪音是固定的。当信号值低于噪音的3倍时,将无法识别信号代表的信息。信噪比是限制成像分辨率的一个重要基本因素。

特殊情况也有大束斑分辨率高的,例如100倍,用最大束斑,就比最小束斑分辨率高。因为在相同的扫描区域,最小的束斑扫描步距太大,很多地方漏扫了,看起来图像边缘轮廓反而很差。

因此束斑尺寸和放大倍数协调才会获得最佳分辨率。


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