谁知道电子枪的结构和功能是什么?

谁知道电子枪的结构和功能是什么?,第1张

电子枪的结构 无论那种类型的电子枪,它们均由电子的发射极——阴极、电子注形状的限制极——聚焦极和电子的加速引出极——阳极三部分组成。不同环境下使用的电子枪其结构会是多种多样的,但是其基本组成部分是不变的。在工作中通常聚焦极的电位等于或接近于阴极电位,用以限制电子注的形状,而在阴极和阳极之间加上加速电压(阳极电压)。当电子从阴极发射出来,将与由上述电极和电子注本身的空间电荷建立的静电场发生作用,形成具有一定形状的电子注,并从阳极孔射出以供使用。这种电子枪的工作原理与一般二极管相似,所以人们也称其为二极枪。 电子枪最常用的是二电极皮尔斯型。结构如图2.1-2所示。它主要由阴极、聚焦极、阳极组成。在阳极中间有一开口,电子从中穿过,注入到加速腔中去。皮尔斯型电子枪,又称轴对称球形收敛注皮尔斯电子枪,它是取两个同心球面的一部分形成的二极管。为了使电子的轨迹沿阴极曲率半径方向,需将球面电极的边缘加以修正,因此在阴极外围加有聚焦极。电子枪的功能电子枪是加速器的电子注入器,它发射出具有一定能量、一定流强、一定束流直径和发射角的电子束流(该电子束的方向和强度可以控制,通常由热阴极、控制电极和若干加速阳极等组成)注入到加速管,用来为电子加速器提供电子束的,电子枪的功能在于给出满足要求的电子束

就是SEM扫描电镜

SEM电子枪用于产生电子,主要有两大类,共三种。 一类是利用场致发射效应产生电子,称为场致发射电子枪。这种电子枪极其昂贵,在十万美元以上,且需要小于10-10torr的极高真空。但它具有至少1000小时以上的寿命,且不需要电磁透镜系统。 另一类则是利用热发射效应产生电子,有钨枪和六硼化镧枪两种。钨枪寿命在30~100小时之间,价格便宜,但成象不如其他两种明亮,常作为廉价或标准SEM配置。六硼化镧枪寿命介于场致发射电子枪与钨枪之间,为200~1000小时,价格约为钨枪的十倍,图像比钨枪明亮5~10倍,需要略高于钨枪的真空,一般在10-7torr以上;但比钨枪容易产生过度饱和和热激发问题。

后者就是所谓的钨灯丝扫描电子显微镜


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