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低分辨率下,要不要喷金根据材料电导率决定,一般分辨率会比较清晰高分辨率下(0.5微米往下),导电不好的材料表面会模糊不清。喷金之后,表面导电性改善,分辨率能达到几十纳米左右。所以金属样品不用喷金,而陶瓷纳米颗粒样品最好在表面镀层铂金。如果在SEM下做元素分析的话,最好不要喷金,这样污染比较大SEM 固体材料样品制备方便,只要样品尺寸适合,就可以直接放到仪器中去观察。样品直径和厚度一般从几毫米至几厘米,视样品的性质和电镜的样品室空间而定。对于绝缘体或导电性差的材料来说,则需要预先在分析表面上蒸镀一层厚度约10~20 nm的导电层。 否则,在电子束照射到该样品上时,会形成电子堆积,阻挡入射电子束进入和样品内电子射出样品表面。导电层一般是二次电子发射系数比较高的金、银、碳和铝等真空蒸镀层。 在某些情况下扫描电镜也可采用复型样品。SEM样品制备大致步骤: 1. 从大的样品上确定取样部位; 2. 根据需要,确定采用切割还是自由断裂得到表界面; 3. 清洗; 4. 包埋打磨、刻蚀、喷金处理
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