材料学院的的问题：：：：波谱仪和能谱仪工作原理！！！求解答 谢谢

能谱仪（EDS）是用较细聚集的高能电子束照射样品表面所需分析的微区，激发出物质的特征X射线，其能量决定于组成该物质的元素种类，其强度决定元素的含量，能谱仪用半导体探测器检测X射线的能量并按其大小展谱，根据能量大小确定产生该能量特征X射线的元素。

波谱仪（WDS）是用细聚集的高能量电子束照射样品表面所需的分析微区，激发出物质的特征X射线，其波长决定组成该物质的元素种类，其强度决定于元素的含量，波谱仪根据晶体对X射线的衍射效应，利用已知面间距的分光晶体据不同波长的X射线按衍射角展谱，根据角度，由布拉格方程计算出X射线波长，确定产生该波长特征X射线的元素。

波谱仪和能谱仪的范围基本一样，在于波谱仪的分析定量精度要高于能谱仪，可以对重叠的谱峰进行分峰处理和分析。

而能谱仪以快速分析见长。但是现在波谱仪也有了进步，分析起来已经很快，对于定量要求不高的样品，十几秒就够了。

根据具体问题类型，进行步骤拆解／原因原理分析／内容拓展等。

具体步骤如下：／导致这种情况的原因主要是……

1.sem扫描电镜的原理是依据电子和物质的相互作用，扫描电镜从原理上讲就是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描，激发出各种物理信息。

2.通过对这些信息的接收、放大和显示成像，获得测试试样表面形貌的观察。

3.sem是一种电子显微镜，中文名为扫描电子显微镜，通过用聚焦电子束扫描样品的表面而产生样品表面的图像。

4.它由电子光学系统、信号收集及显示系统、真空系统和电源系统组成，应用于生物、医学、材料和化学等领域。

5.扫描电镜（SEM）是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。

6.扫描电镜的优点是，有较高的放大倍数，20-20万倍之间连续可调。

7.有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构。

8.试样制备简单。

9.目前的扫描电镜都配有X射线能谱仪装置，这样可以同时进行显微组织形貌的观察和微区成分分析，因此它是当今十分有用的科学研究仪器。

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