电子探针仪与扫描电子显微镜有何异同

二者最主要的不同是其工作肌理不同。

电子探针仪，学名应该是扫描隧道显微镜（scanning tunnel microscopy，STM）,它的工作原理是用一个针尖在离样品表面极近的位置慢慢划过，样品和针尖上加有恒定电压，随着针尖和样品起伏不平的表面原子距离的改变，二者间的电流会有变化，记录这个电流的变化进行处理后，可以得到表面的形貌像，这是其中的一个工作方式，还有针尖位置不变，电压变化的工作方式等。另外STM发展的非常蓬勃，衍生出很多其他类似的分支电镜，如AFM等。

扫描电子显微镜（scanning electron microscopy,SEM),是通过电子束对样品表面进行反复的扫射，通过探头收集反射回来的二次电子和背散射电子来进行成像。

二者相同的地方则是主要用作测样品表面形貌的仪器

SEM说俗了 就是用高速的电子打击标本 捕获打回来的电子 然后电脑分析 得到的图象就是物体表面的照片 和普通黑白照片没区别 只不过是很小很小的物体 在纳米级别上的迷你照片~

电子探针就不一样了 全名为电子探针X射线显微分析仪 又名微区X射线谱分析仪 听着听深奥 实际上就是把高速的电子打在物体上 这点和SEM一样 但是它捕获的不是电子 它要的是物体受到电子攻击产生的X线``（如果你大学物理学的好没挂科的话你应该记得一个叫做特征X线 它要的就是这个玩意） 因为这个X线含有标本的化学成分信息``所以它长用来分析物体里有什么 这样我们就知道标本里面有多少氢多少氧等等`

总结就是：都把高速的电子打到了标本上 SEM捕获了反弹回来的电子 从而知道了物体表面长什么样子 电子探针捕获了物体激发出来的X光 从而知道了物体里面有什么成分

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