请教各位怎样拍出大角度的SEM图

请教各位怎样拍出大角度的SEM图,第1张

可以有3个方法:

1,制样的时候将样品倾斜放置。

2,用倾斜样品台制样,有些SEM样品台配有30,45,60度倾斜的样品台。

3,高级的SEM,可以讲探头本身倾斜,从而获得大角度的SEM图

不是。

SEM对样品的要求。

1、不会被电子束分解。

2、在电子束扫描下热稳定性要好。

3、能提供导电和导热通道。

4、大小与厚度要适于样品台的安装。

5、观察面应该清洁,无污染物。

6、进行微区成分分析的表面应平整。

7、磁性试样要预先去磁,以免观察时电子束受到磁场的影响。


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