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这个是可以测成分的,牛津仪器纳米分析部推出了可以在SEM里测量薄膜成分和厚度软件系统ThinFilmID。 ThinFilmID是利用EDS测量薄膜结构的成分和厚度。 这项技术是唯一基于SEM和EDS薄膜分析系统。扫描电镜是可以用来看看那个产物最终的形貌的,但是EDS只是个半定量的分析---个元素的含量的,你可以用那个ICP进行分析下,这样的话,可能会准确点;或者使用原子吸收光谱法进行测定,但是前提是你知道大概有哪些元素构成了你的产物,也就是你的反应物中的原料是什么,这个你要自己把握下!希望对你有帮助!
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