扫描电子显微镜检测的主要电子信号是

背散射电子信号；二次电子信号

信号收集和显示系统包括信号探测器，即前放、功放和显示装置，其作用是检测试样在入射电子的激发下产生的各种电子信号，这些信号经多级放大后作为显示系统的调制信号，最后在荧屏上得到反映该试样表面特征的扫描图像。

检测二次电子和背散射电子时，理论上都可以用闪烁体加光电倍增器所组成的传统E-T 二次电子探测器来进行探测、成像。因该探测器前端的栅网上加有从-150〜+300V (个别电镜为-250〜+400V)的可调电位。若栅网上加正电位，则探测器接收二次电子，当栅网上加+300V时，吸引来的二次电子经闪烁体前面的高压加速，入射到闪烁体上的荧光层，荧光层受激发便会发光产生光信号，光信号沿着光导管传送到光电倍增管，把光信号转换成电信号并进行倍增放大，再输给预放大器，最后经功率放大就成为显示屏中的视频图像。若栅网上加负电位，则负电位会排斥低能二次电子，只能让高能的背散射电子通过。这些背散射电子入射到闪烁体上的荧光层，荧光层受激发产生的光电信号经转换并倍增放大，最后同样成为显示屏中的视频图像。这就是用传统E_T探测器来对SE和BSE进行检测、成像的大致过程。

进行元素分析的信号主要是作用区发射的元素特征X射线，俄歇电子，

阴极荧光，背散射电子等，特征能量损失电子。

SEM 常常使用：EDS，WDS 分光特征X射线； 俄歇电子需要超高真空环境，往往以俄歇电子谱仪的商品出现，也可归入扫描电镜范畴；背散射电子携带微区不同平均原子序数区域的反差信息，定性的了解原子序数高低或者材料密度分布；阴极荧光光谱范围在紫外，可见或红外波段所发射的电磁辐射，这种现象可以被用来检测矿物，半导体和生物样品中痕量元素（ppm级别，用X射线波谱WDS或者X射线能谱EDS都是不能实现的）的分布。

TEM常使用特征x射线和特征能量损失电子，

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