用SEM测超薄薄膜厚度，如何制样才能保证导电性足够好？

想准确测定厚度还是很麻烦的，关键就在于制样，关于镀层或者薄膜厚度的测定有相关标准的，标准名称我不太记得了，改天给你发过来也行（如果需要），大概意思是说在要测的镀层外面再镀一层镍，然后把材料固化在树脂中，再做截面，或者抛光，然后再测定，关键是不要破坏镀层.关于SiO2不导电的问题，喷金或者喷碳就可以解决.

要确定是否镀上一层sio2，首先要确定是否有sio2，可以通过X射线衍射仪（XRD）或者扫描电子显微镜（SEM）来检测。XRD可以检测出材料的晶体结构，以及晶体中各种元素的含量，可以确定是否有sio2。SEM可以检测出表面的结构，以及表面的厚度，可以确定sio2的厚度是否达到200字以上。另外，还可以通过原子力显微镜（AFM）来检测表面的结构，以及表面的厚度，以确定是否镀上一层sio2。总之，要确定是否镀上一层sio2，可以通过XRD、SEM和AFM等技术来检测，以确定是否有sio2，以及sio2的厚度是否达到200字以上。

扫描电镜的试样制备是一个非常重要的老问题,特别是场发射扫描电镜观察过程中的非导电试样的制备方法,制备方法不正确就会出现一些假象.本文主要讨论了与SEM图像质量相关的因素,例如加速电压、镀膜厚度、试样尺寸及固定方法等,举例说明了选择最佳条件在无机非金属材料研究中的应用.镀膜是解决非导电试样荷电现象的主要方法,也可以提高图像质量,但往往产生假象,对场发射扫描电镜试样要特别注意镀膜材料和镀膜厚度.镀膜材料要根据试样材料和放大倍率选择,在一万倍以下观察图像时,可以蒸镀金膜,用场发射SEM观察高倍图像时,应蒸镀厚几nm的难熔金属Pt或者Pt-Pd合金.

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