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不同很正常,因为可能你的样品不是均一的,导致差异。这个SEM测试的是particle不是grain size!谢乐公式可以用,因为不超过几百纳米。你不懂得太多,建议上小木虫多多充电!这个是可以测成分的,牛津仪器纳米分析部推出了可以在SEM里测量薄膜成分和厚度软件系统ThinFilmID。 ThinFilmID是利用EDS测量薄膜结构的成分和厚度。 这项技术是唯一基于SEM和EDS薄膜分析系统。
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