电子束的束斑大小怎么影响扫描电子显微镜的分辨率

一般来说，束斑小的分辨率高。但束斑小相应的束流也小，转化为成像信号的电子也少，而统计噪音是固定的。当信号值低于噪音的3倍时，将无法识别信号代表的信息。信噪比是限制成像分辨率的一个重要基本因素。

特殊情况也有大束斑分辨率高的，例如100倍，用最大束斑，就比最小束斑分辨率高。因为在相同的扫描区域，最小的束斑扫描步距太大，很多地方漏扫了，看起来图像边缘轮廓反而很差。

因此束斑尺寸和放大倍数协调才会获得最佳分辨率。

这是EDAX公司制造的EDS 采集SEM图像做能谱分析时候的信息，具体如下：

KV 加速电压 ：15千伏特

Mag（magnification） 放大倍数：1700倍

TILT 样品台倾斜角度：0°

MicronsPerPixY 样品上编制的每个像素面积：0.071平方微米。可以换算成束斑尺寸，直径大概300nm。

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