扫描电镜的分辨率受哪些因素影响

主要影响因素

1 扫描电子束斑直径

一般认为在理想的情况下，扫描电镜的分辨率不可能小于扫描电子束斑直径，故束斑直径越小，电镜的分辨本领越高。束斑直径主要取决于电子光学系统（电子枪等）

2 入射电子束在样品中的扩展效应

例如不同的入射电子能量导致作用区域不同，高加速电压时，入射电子能量高，作用深度大，不同深度的信号叠加，无法清晰地表征材料最表面细节；低加速电压时，入射电了能量低，作用深度浅，提高了空间分辨率，。

3.成像所用信号种类

也是主要与信号本身的能量和信号取样的区域范围，以二次电子为调制信号和以背散射电子就不一样，后者分辨率低于前者。

此外，例如信噪比、磁场条件，机械振动引起的束流漂移都有影响。

首先我们要清楚什么是分辨率，这个在书上定义的很模糊。简单来说就是谱线的半波长，这个定义不是非常准确，但是是对的。打个比方，某个元素有相邻的两条谱线，如220.3 nm，和220.6 nm，分辨率高的仪器就能将这两条谱线区分开来，反之不能（原子吸收为例）。当然，影响分辨率的因素，主要有：光栅的刻度数，狭缝带宽，光路光学元件的焦距等，主要是这三个因素。其它一些，如温度，湿度，影响不大。

SEM的分辨率主要取决于物理信号而不是衍射效应和球差。

只是用波长更短的电子束替代了会发生衍射的可见光 从 而实现了显微 是二维的图象 会看到表面的图象的同时也看到内层物质

如果图像是规则的（具螺旋对称的活体高分子物质或结晶），则将电镜像放在光衍射计上可容易地观察图像的平行周期性。尤其用光过滤法，即只留衍射像上有周期性的衍射斑，将其他部分遮蔽使重新衍射，则会得到背景干扰少的鲜明图像。

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