开机时,初级泵(油泵)抽到一定真空度后扩散泵启动。这时候电热丝会加热扩散泵底部使泵油沸腾。一般这个过程很短,即使提示“温度过低,稍等一会儿”,也就稍等一会儿吧。
如果等很久,扩散泵都不工作,可以看看泵底部是不是热了(注意:高温,不要用手摸)。
如果不热,可能是电热部分损坏了;
如果是高温的,可能是测温元件坏了,或者软件有问题。
扩散泵一般在镜筒正下方,气浮平台里面。
欢迎分享,转载请注明来源:夏雨云
开机时,初级泵(油泵)抽到一定真空度后扩散泵启动。这时候电热丝会加热扩散泵底部使泵油沸腾。一般这个过程很短,即使提示“温度过低,稍等一会儿”,也就稍等一会儿吧。
如果等很久,扩散泵都不工作,可以看看泵底部是不是热了(注意:高温,不要用手摸)。
如果不热,可能是电热部分损坏了;
如果是高温的,可能是测温元件坏了,或者软件有问题。
扩散泵一般在镜筒正下方,气浮平台里面。
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