SEM 可以测成分吗

这个是可以测成分的，牛津仪器纳米分析部推出了可以在SEM里测量薄膜成分和厚度软件系统ThinFilmID。 ThinFilmID是利用EDS测量薄膜结构的成分和厚度。 这项技术是唯一基于SEM和EDS薄膜分析系统。

你说的厚度如果用SEM只能粗略的估计，利用背景的亮度差别，其实效果不一定很好的。样品的制作只要你把样品粉末比较充分的分散，可以用去离子水，滴一滴就可以，样品制作的好坏关键就看分散性如何，不能太浓也不能太希

SEM的样品可以是大的块状，较小的话就镶样，也可以做粉末样。而TEM的样呢一般是直径3mm的圆片，而且中间有通过离子减薄或者电解双喷等弄出的小孔，也就是说有薄区，如果是粉末样的话需要铜网或者支持膜支撑

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