金属试样做SEM和EDS之前需要侵蚀吗？

如果你只是做金属材料中的夹杂等成分，可以不用侵蚀，直接使用背散射观察，然后用EDS进行

成分分析

；如果你需要看材料的

基本组织

，第二相等，需要侵蚀，然后SEM观察，同时可在感兴趣的位置进行EDS，包括点、线、面的成分分析。

SEM主要优势是观察粗糙的原始表面，一般无需对样品表面进行特殊处理，在微区属于无损分析。

如果看金相，需要从形状形貌上来鉴别是什么相，肯定需要腐蚀，因为SEM成像，需要有确切的形貌存在，例如镜面抛光后，图像没有形貌反差，也就无从鉴定相。有时候看夹杂物则无需腐蚀，镜面抛光后，直接使用BSE信号成像，会清晰的表现Z反差。但一般的Z反差和相反差并不完全相符。

由于sem的成像原理是通过detecter获得二次电子和背散射电子的信号，而若样品不导电怎或造成样品表面多余电子或游离粒子的累积不能及时导走，一定程度后就反复出现充电放电现象（charging)，最终影响电子信号的传递，造成图像扭曲，变形、晃动~~等等一些现象。建议：若果没有条件蒸镀导电膜的话 可以尝试用低真空做。

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