EDS分析求助

EDS分析求助,第1张

1. 可以。无论是SEM还是TEM均可,只是多数情况下,EDS采用无标样定量,定量分析结果是半定量的,不能作为决断性证据,而只能做其他表征手段的support information。分析方法很简单,EDS能谱都有直接定量分析的功能,为了准确,你可以多点分析(大于20个点),取平均值。2. 一个点的分析区域对于通常的SEM区域是以电子束束斑为大小的圆斑,往下是一个梨形扩展区,通常会有几个立方微米的空间,但如果只是一个单分散的纳米颗粒,下面没有其他干扰,分析区域可以准确到电子束斑大小。对于TEM,则和后面的那种情况相同。顺便说一下:在EDS采集样品信息时,一般建议用取点分析,而不是取框,因为如果不做设定,通常一个点的分析时间和一个框的总分析时间相同,那么一个框的分析时间平均到每个区域点,会使采样时间极其短暂,从而影响定量结果的准确性(信号量不足会影响少量元素组分的定量)。

````

应该是景深吧``

焦深计算公式

L= ±[(r/M)-d]/2α 其中:

L: 焦深

r: 显像管最小分辨距离

M:放大倍数

d:入射电子束直径

2α:物镜孔径角。

从上面的式子可以看出影响焦深的因素,其中隐含了工作距离w。物镜孔径角与工作距离和入射电子束直径有关。由于r(显像管的分辨率)和2α都是未知数,实际上不能计算。焦深也只是个人的视觉感受,还是直观的测量一下为好。

又查了资料``显像管最小分辨距离为0.22mm-0.3mm, 孔径角的典型数值为10-2—10-3rad.利用公式L= ±[(r/M)-d]/2α可以计算出在有效放大倍率下的焦深数据。设d=3纳米,孔径角2α=10-2 rad,r=0.3mm。计算焦深如下:

1000倍下为59.4微米。5000倍下为11.4微米。10000倍下为5.4微米。超过100000倍已经超过了有效放大倍率。不能计算。


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