请问一下：在调节扫描电镜聚焦时为什么工作距离会变？

工作距离WD的概念是物镜下表面到试样表面的距离，但是由于每次放入不同样品的高度不一样，每个样品上的不同区域的形貌起伏也不同，这均使得WD发生变化。所以，操作扫描电镜时，需要做的第一件事就是先粗略地标定WD，方法就是在某一特定放大倍数下获得聚焦清楚的图像，根据此时的焦长自动标定出相对准确的WD，而后，你继续调节WD的数值才是相对真实可信的。注意，调节WD是要靠机械马达，而利用焦距判定WD是利用焦长以及SEM的系统软件，相比之下，前者是粗调，后者是精确值。你在同一试样上的不同高度的微区聚焦时，该微区距离物镜下表面的WD精确值当然会因聚焦条件的变化而被重新校正。所以拍照所得的WD会发生微小的变化。

Work Distance的简写,可译为工作距离.即指物镜最前缘到样品物平面的距离.WD的大小决定了样品到物镜的空间大小,WD大的显微镜可以为显微操作提供可能.同样的镜子,物镜倍率越小工作距就越大（几毫米到十几毫米）,高倍镜一般工作距很小只有0.3mm.

你这个WD=54mm是很大的工作距,一方面说明你的物镜放大率很低,另一方面也是经过特殊的长工作距的设计.我估计你这个可能是体视显微镜或手术显微镜,这类镜子的工作距都比较大,这可为双手操作器械提供足够的空间.

1、放大率：

与普通光学显微镜不同，在SEM中，是通过控制扫描区域的大小来控制放大率的。如果需要更高的放大率，只需要扫描更小的一块面积就可以了。放大率由屏幕/照片面积除以扫描面积得到。

所以，SEM中，透镜与放大率无关。

2、场深：

在SEM中，位于焦平面上下的一小层区域内的样品点都可以得到良好的会焦而成象。这一小层的厚度称为场深，通常为几纳米厚，所以，SEM可以用于纳米级样品的三维成像。

3、作用体积：

电子束不仅仅与样品表层原子发生作用，它实际上与一定厚度范围内的样品原子发生作用，所以存在一个作用“体积”。

4、工作距离：

工作距离指从物镜到样品最高点的垂直距离。

如果增加工作距离，可以在其他条件不变的情况下获得更大的场深。如果减少工作距离，则可以在其他条件不变的情况下获得更高的分辨率。通常使用的工作距离在5毫米到10毫米之间。

5、成象：

次级电子和背散射电子可以用于成象，但后者不如前者，所以通常使用次级电子。

6、表面分析：

欧革电子、特征X射线、背散射电子的产生过程均与样品原子性质有关，所以可以用于成分分析。但由于电子束只能穿透样品表面很浅的一层（参见作用体积），所以只能用于表面分析。

表面分析以特征X射线分析最常用，所用到的探测器有两种：能谱分析仪与波谱分析仪。前者速度快但精度不高，后者非常精确，可以检测到“痕迹元素”的存在但耗时太长。

观察方法：

如果图像是规则的（具螺旋对称的活体高分子物质或结晶），则将电镜像放在光衍射计上可容易地观察图像的平行周期性。

尤其用光过滤法，即只留衍射像上有周期性的衍射斑，将其他部分遮蔽使重新衍射，则会得到背景干扰少的鲜明图像。

扩展资料：

SEM扫描电镜图的分析方法：

从干扰严重的电镜照片中找出真实图像的方法。在电镜照片中，有时因为背景干扰严重，只用肉眼观察不能判断出目的物的图像。

图像与其衍射像之间存在着数学的傅立叶变换关系，所以将电镜像用光度计扫描，使各点的浓淡数值化，将之进行傅立叶变换，便可求出衍射像〔衍射斑的强度（振幅的2乘）和其相位〕。

将其相位与从电子衍射或X射线衍射强度所得的振幅组合起来进行傅立叶变换，则会得到更鲜明的图像。此法对属于活体膜之一的紫膜等一些由二维结晶所成的材料特别适用。

扫描电镜从原理上讲就是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描，激发出各种物理信息。通过对这些信息的接受、放大和显示成像，获得测试试样表面形貌的观察。

参考资料：百度百科-扫描电子显微镜

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