铁氧体永磁材料做SEM时，需要注意什么啊？

原文由fengyonghe(fengyonghe)发表:扫描电镜的试样即使是弱磁性的都不能做，更何况是铁氧体永磁材料。电子束被试样磁场偏转，会产生意想不到的结果。样品室可能被磁场污染。

SEM描电镜主要应用于微观形貌、颗粒尺寸、微区组成、元素分布、元素价态和化学键、晶体结构、相组成、结构缺陷、晶界结构和组成等。SEM一般通过搭配能谱仪EDS使用,可利用EDS进行元素成分定性、定量分析。用来观测芯片内部层次和测量各层厚度、观测并拍摄局部异常照片和测量异常尺寸、测量芯片关键尺寸线宽和孔径、定性和定量分析异常污 染物的化学元素组成。

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