关于SEM扫描电镜的几个问题,求大神出现...

关于SEM扫描电镜的几个问题,求大神出现...,第1张

如果是即将开始学习仪器操作的管理人员,建议先系统学习理论知识,再找专业的仪器工程师培训。如果是学生,要使用电镜,从安全角度考虑,1、2、3几项通常是值机人员完成的。我可以简单的向你介绍一下:1、主要是电源,只要能正常开机,一般无问题;2、加高压前一般要达到额定真空,否则气体电离度大、损伤电子枪,但是电镜软件一般都已经设置好,不到工作真空,根本加不上去高压,所以只要能够加高压,也无其他特别的问题;做完电镜关闭高压,等30秒以上,待灯丝冷却后再放气为宜,主要也是为了保护电子枪;3、样品台有它的额定移动距离,包括平面方向和上下方向,平面方向移动到极限时会有报警提示,看到提示往回移动即可。高度方向也如此,但是要注意向上移动时,要缓慢,要防止坚硬的试样撞击上方的探测器和极靴,损坏设备;4,电子束与试样作用,可激发出多种信号,如二次电子信号(用于形貌观察),背散射电子信号(用于区分微区成分)、俄歇电子信号(用于表面元素分析)、特征X射线(用于内部元素分析)、阴极荧光(用于发光材料研究),这些信号已经被有效的加以利用,这是一门独立的学科,若需要详细了解,你需要系统地学习一下。

SE2和Inlens均用于形貌观察,但Inlens信号更贴近表面,更适宜高倍近距离观察微观形貌。

SE2探测器常侧装于样品室上 接收二次电子外,还接收透射电子和部分背散射电子。其图像立体感强 主要在工作距离较大的情况下( WD >5mm)使用,当工作距离过小时( WD 物镜内安装的环形二次电子探测器( Inlens 探测器),位于电子束光路中在小工作距离(WDx5mm)或低加速电压下操作,SE1被物镜下部安装的静电透镜加速,从物镜极靴内孔直上,会聚到探测器表面,SE2和其他电子被排斥。其仅接收来自电子束入射区的二次电子,因此分辨率高,图像质量好,但立体感较差。


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