扫描电镜HA-BSE、LA-BSE是什么模式

BSE是扫描电镜中的一种成像信号，叫做背散射电子，这种信号来源于高能汇聚的电子束和观察样品相互作用，是其中被反弹出样品表面的束电子。

如果规定束电子入射方向为0°，根据上面定义显然，Bse的散射角最大为180°，一般最小为90°。

汇聚的入射电子在作用区内（驰奔仪器：称作像素）被散射后向整个空间发射，BSE散射立体角应该在90°~180°之间，散射角度从低到高，高低是相对值，

根据实验研究，驰奔仪器：给了个大概有个范围

LA-BSE：Low Angle Back scattered electrons，  （90~125°）

HA-BSE: High Angle Back scattered electrons.  （146~180°）

原理解释：

根据卢瑟福弹性散射规律，LA to HA， BSE产额降低，能量下降。

In another word:  BSE能量谱图中的高能峰值在低角度范围，这些BSE信号能量不损失或损失很少，其主要来源于作用区中入射束在样品表面很小的行程内经过一次或极少次弹性或非弹性碰撞的BSE, 这意味着其相差不多来源于整个作用区中的很小一部分，和汇聚的电子束直径相差不多，一般距离样品表面5个平均自由程深度，和SE信号有的一拼，代表高分辨和精细的表面形貌。

而越高角度BSE，能量越低，是经过与样品中路过的原子核多次弹性碰撞和核外电子非弹性碰撞，信号来源于作用区更大部分，主要反映作用区平均原子核大小（核越大，背散射电子越多）从而和平均原子序数具有比较精确函数关系。

一般从观察角度来看，如果希望观测高分辨形貌，使用的LA-BSE信号成像, Angle越小越好，如果希望提高原子序数分辨，使用HA-BSE信号成像，Angle越大越好。

仪器设计角度考虑操作简单方便，设定了傻瓜模式，才有了LA-BSE模式或HA-BSE模式

图片来源：驰奔仪器网站

20KV 加速电压

放大5万倍

工作距离 11mm

ETD : E-T型二次电子探测器

Spot，束斑大小控制参数

成像模式：二次电子像

2μm 比例尺 scale

FEI 是公司名称 后边是sem型号

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