有没有人懂SEM扫描电镜的，辐射大吗

电镜辐射来源主要源于，电子枪发射的电子束和电子束激发样品表面出来的各种信号。而电子束直径只有纳米到10纳米级别，因此产生的辐射很少很少。同时，电镜电子枪位置有大块铅块吸收辐射，样品仓由很厚的金属材料做成，因此对于电镜整体而言，几乎没有对外的辐射。

另外，需要提醒楼主的是，电镜虽然辐射不大，不过电镜样品千奇百怪，不免遇到一些有毒有害的物质材料，楼主需要做好保护措施（手套，口罩），既保护自己，又保护电镜和样品不受污染

由于sem的成像原理是通过detecter获得二次电子和背散射电子的信号，而若样品不导电怎或造成样品表面多余电子或游离粒子的累积不能及时导走，一定程度后就反复出现充电放电现象（charging)，最终影响电子信号的传递，造成图像扭曲，变形、晃动~~等等一些现象。建议：若果没有条件蒸镀导电膜的话 可以尝试用低真空做。

薄膜样品做XRD、SEM和AFM测试没有固定的先后顺序。在这三个测试中原子力显微镜更具有优势。想了解更详细的信息，推荐咨询Park原子力显微镜。Park原子力显微镜的Park NX-Hivac。在高真空条件下执行扫描扩散电阻显微镜测量可减少所需的针尖-样本相互作用力，从而大幅度降低对样本和针尖的损伤。如此可延长各针尖的使用寿命，使扫描更加低成本和便捷，并通过提高空间分辨率和信噪比得到更为精确的结果。因此，利用NX-Hivac进行的高真空扫描扩散电阻显微术测量可谓是故障分析工程师增加其吞吐量、减少成本和提高准确性的明智选择。

XRD、 SEM、AFD三者的区别：

1、 XRD（X-ray diffraction）是用来获得材料的成分、材料内部原子或分子的结构。

2、 SEM（扫描电子显微镜）是一种微观性貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。

3、 AFM （原子力显微镜）是一种表面观测仪器，与扫描隧道显微镜相比，能观测非导电样品。

XRD通常薄膜厚度不够的话，需要剥离研磨制成粉末样品。SEM和AFM根据样品的特性选择一个测试就可以。测试时通常是选择同批次，同条件的几个样品分别去测形貌和组分。按照预约测试时间来安排测试顺序。

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