SEM对样品的要求。
1、不会被电子束分解。
2、在电子束扫描下热稳定性要好。
3、能提供导电和导热通道。
4、大小与厚度要适于样品台的安装。
5、观察面应该清洁,无污染物。
6、进行微区成分分析的表面应平整。
7、磁性试样要预先去磁,以免观察时电子束受到磁场的影响。
SEM 固体材料样品制备方便,只要样品尺寸适合,就可以直接放到仪器中去观察。样品直径和厚度一般从几毫米至几厘米,视样品的性质和电镜的样品室空间而定。对于绝缘体或导电性差的材料来说,则需要预先在分析表面上蒸镀一层厚度约10~20 nm的导电层。 否则,在电子束照射到该样品上时,会形成电子堆积,阻挡入射电子束进入和样品内电子射出样品表面。导电层一般是二次电子发射系数比较高的金、银、碳和铝等真空蒸镀层。 在某些情况下扫描电镜也可采用复型样品。SEM样品制备大致步骤: 1. 从大的样品上确定取样部位; 2. 根据需要,确定采用切割还是自由断裂得到表界面; 3. 清洗; 4. 包埋打磨、刻蚀、喷金处理SEM就是观察表面形貌的一种方法。对于块状材料,如果观察断口形貌,则要把样品打断,将断口在丙酮中超声处理,去除碎渣,再喷碳或金。
对于抛光样品,需要将抛光面腐蚀。腐蚀剂根据不同材料选择。
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