电子与物质相互作用会产生透射电子,弹性散射电子,能量损失电子,二次电子,背反射电子,吸收电子,X射线,俄歇电子,阴极发光和电动力等等。
电子显微镜就是利用这些信息来对试样进行形貌观察、成分分析和结构测定的。
电子显微镜有很多类型,主要有透射电子显微镜(简称透射电镜,TEM)和扫描电子显微镜(简称扫描电镜,SEM)两大类。
电子束通过加速电压打到样品上,称场发射。
sem 有冷场发射的和热场发射的,还有环扫。场发射的分辨率较高,达到1nm环扫达3¬4nm,样品室比较大,景深大,可做断口和有污染的样品,电子束流达,可信度高。
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