怎么用SEM看薄膜截断面

针对怎么用SEM看薄膜截断面来回答：

献峰科技指出：在Si片上镀一层非晶碳膜（厚度为几十个nm，导电性能较差），用金刚石刀直接切割出试样，然后进行SEM观察，希望得到薄膜的厚度。

第一次去做时表面没有喷金，看到的断面效果也很差，很难清楚的看到薄膜与基体的分界面。

希 望 采 纳 不 足 可 追 问

可以把材料切一小块儿，然后镶样吧（就像磨小试样的金相一样），磨好后再喷金，然后再用SEM观察玻璃涂层的均匀性以及厚度吧。楼上说的掰断的方法，看是能看，但看的都是

断口

的形貌吧，是否会影响观察玻璃涂层的厚度呢。

先用2000目或更小的砂纸将表面打磨平整，不能有明显的缺陷。如果你对表面要求很高，再做下表面抛光就可以了。不知道做SEM想得到什么结果，是看粒子的烧结情况，还是看里面有没有你想要的特定结构。我们做一般用上面大小的砂纸将表面打磨就行了。

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