SEM对样品的要求。
1、不会被电子束分解。
2、在电子束扫描下热稳定性要好。
3、能提供导电和导热通道。
4、大小与厚度要适于样品台的安装。
5、观察面应该清洁,无污染物。
6、进行微区成分分析的表面应平整。
7、磁性试样要预先去磁,以免观察时电子束受到磁场的影响。
SEM的样品可以是大的块状,较小的话就镶样,也可以做粉末样。而TEM的样呢一般是直径3mm的圆片,而且中间有通过离子减薄或者电解双喷等弄出的小孔,也就是说有薄区,如果是粉末样的话需要铜网或者支持膜支撑这是两个缩略词:FESEM (field emission scanning electron microscopy)场发射扫描电子显微镜
SEM (scanning electron microscopy) 扫描电子显微镜
下面是专业方面的差别,找来的,自己不懂:
FESEM就是用场发射枪的SEM,SEM则是统称。场发射枪比LaB6(CeB6)的电子束亮度强100倍,比钨灯丝高10000倍,是一个高性能的电子光源。由于它采用的技术能使电子束的束斑很细(最细甚至在0.5 nm以下),所以能有很高的分辨率(目前最高0.4 nm)。
喷金和喷碳是为了增加样品表面的导电性,但FESEM的样品最好不要喷金,甚至最好不要喷碳,为的是能看到最接近原始形貌的图片。由于有高亮度的特点,对于不导电的样品可以把电压降低,或者使用电子束减速模式等新技术,同样能得到质量很高的照片。
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