sem光阑对中什么意思

sem光阑对中什么意思,第1张

限制透镜或光学系统装置光孔的(如带孔的板)。光阑光圈快门。在做扫描电子显微镜(SEM)测试时,科学指南针检测平台工作人员在与很多同学沟通中了解到,好多同学对SEM测试不太了解,针对此,科学指南针检测平台团队组织相关同事对网上海量知识进行整理。从电子枪阴极发出的电子束,经聚光镜及物镜会聚成极细的电子束(0.00025微米-25微米),在扫描线圈的作用下,电子束在样品表面作扫描,激发出二次电子和背散射电子等信号,被二次电子检测器或背散射电子检测器接收处理后在显象管上形成衬度图象。二次电子像和背反射电子反映样品表面微观形貌特征。而利用特征X射线则可以分析样品微区化学成分。

为解决问题,有些镜头会干脆将覆盖率加大,如用于APS-C的镜头,可能本来能盖过全幅,但为保持画质而牺牲了边缘画面。所以,APS-C的镜头多不建议用在全幅机上。就算可以,也会有严重的四角失光或边缘像散。另一种像散则是由于镜头的质量问题,如曲面不均匀,这就有如人眼的散光问题;或镜片组没有对准中轴。不过这都是旧时代的生产技术问题,现在已不多见。

当光学系统存在较大的像散时,像面一般也很弯曲,只有当子午和弧矢像面处于高斯像面二侧时,可勉强认为是平像面光学系统。但因像系由弥散圆形成,是模糊不清的。

当光学系统的像散校正得很好并且用细光束成像时,物平面上各点都有一个清晰的像点,但它们往往仍处于一个弯曲的像面上,在用平面来接收时仍不能同时清晰。通常把消像散时的清晰像面称为珀兹伐曲面,其弯曲程度称为珀兹伐弯曲。

所以,只有同时校正好像散和珀兹伐弯曲,才能使大的物平面用细光束成像时有一个平的清晰像面。若同时校正好宽光束的球差和彗差,则可获得大孔径大视场时的清晰像平面。

一般而论,透镜的像散随孔径光阑位置而异,并随透镜形状的不同而异,但当孔径光阑与薄透镜重合时,只要焦距不变,像散即为常值,与形状无关。消像散系统一般由正、负透镜适当组合而成。珀兹伐弯曲也只有用正、负光焦度分离的方法才能校正。

消除方法: 通过复杂的透镜组合来消除。

消像散器(anastigmator): 在电子显微镜中,用于校正轴向像散的电子光学部件。


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