扫描电镜对不导电样品的处理是比较常见的问题,可以采用的方法有几种。
尽量将块状样品做小,甚至做成粉末,使样品与样品座的接触良好。
对观察样品进行镀金或喷碳处理,使样品表面形成导电膜,利于电荷流走。
最好再用导电胶将喷碳或喷金后的样品表面与样品座(台)连接,以减少电子积累。
对于无法很好解决放电效应对图像影响的,可以加快扫描速度,或用集成模式采集图像,以抑制电荷积累。
用扫描电镜的背散射探头采集图像,几乎不会有放电效应,因为背散射信号强度比较高,不会为放电电荷干扰。
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