sem仪器,显示dp温度过低,稍等一会的原因

sem仪器,显示dp温度过低,稍等一会的原因,第1张

扩散泵温度过低。

开机时,初级泵(油泵)抽到一定真空后扩散泵启动。这时候电热丝会加热扩散泵底部使泵油沸腾。一般这个过程很短,即使提示“温度过低,稍等一会儿”,也就稍等一会儿吧。

如果等很久,扩散泵都不工作,可以看看泵底部是不是热了(注意:高温,不要用手摸)。

如果不热,可能是电热部分损坏了;

如果是高温的,可能是测温元件坏了,或者软件有问题。

扩散泵一般在镜筒正下方,气浮平台里面。

1.可能是油泵的排泄压力过低或电机的功率输出不足,导致油泵真空度不足;

2.管路中有空气或气体混入,堵塞管道,影响真空度;

3.真空泵的磨损严重,损坏了气门和密封,影响真空度;

4.真空泵的排气孔堵塞,影响真空度;

5.真空泵的膜片破损,失去真空密封,影响真空度;

6.真空泵内部油温过高,导致真空度不足;

7.真空泵内部油液污染严重,影响真空度;

8.真空泵内部有污物堵塞,阻碍真空泵的正常运行,影响真空度;

9.真空计内部有气体混入,影响真空度;

10.真空泵中的活塞密封圈损坏,影响真空度。

检查一下系统有没有泄露:

1、检查凝汽器汽侧放水门关闭,不泄漏;

2、检查低压缸排汽安全门完整、无吸气;

3、检查真空系统的水位计不破裂、泄漏;

4、检查真空破坏门关闭,不泄漏口;

5、检查处于负压状态下的低压加热器水位是否正常,放地沟门是否严密。

6、检查真空状态的抽汽管道与汽缸连接的地方是否漏空气,此处漏空气在负荷降低时真空下降,负荷升高后真空稍有回升。

7、检查调速给水泵的重力回水是否导人凝汽器,如果回水量较小,水封袋封不住应将给水泵密封水重力回水倒至地沟。

8、检查水环真空泵系统阀门的水封、管道、法兰或焊口有否不严密处,尤其是膨胀箱或锅炉起动分离器至凝汽器的管道及阀门口。

以上就是有关水环真空泵的一些知识,可以参考一下。


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