4、SEM观察的样品,必须是平整的样品吗?

不是。

SEM对样品的要求。

1、不会被电子束分解。

2、在电子束扫描下热稳定性要好。

3、能提供导电和导热通道。

4、大小与厚度要适于样品台的安装。

5、观察面应该清洁，无污染物。

6、进行微区成分分析的表面应平整。

7、磁性试样要预先去磁，以免观察时电子束受到磁场的影响。

eds样品表面不平整应寻找平的小区域进行点分析。适当降低加速电压来减小作用体积，选择分析区域对准EDS探头。如果试样表面凸凹不平，就可能使出射X射线受到不规则的吸收，降低X射线测量强度。试样表面台阶会引起附加吸收。较大面积或者扫描方法定量时，试样表面有微米量级的粗糙度对定量结果影响较小。

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