什么是真空规管？原理及用途？

真空规管，真空规管就是测量真空度的传感器。真空规管测量出来的信号传输到真空计上经过放大处理就可以显示出被测真空环境的真空度。主要应用于真空环境的真空度测量领域，如真空镀膜，太阳能集热管制作，真空冶炼等。

真空规管一般是装在真空镀膜室的位置，是指电离规管，玻璃管端部用老虎钳夹破一点，插进真空室密封好，必须大气状态完成。

扩展资料

分类

1、热偶规

目前国内的热偶规主要有51系列，53B/54D等。主要应用于低真空测量。

2、皮拉尼系列（电阻规管）

目前国内的电阻规型号主要是52T系列。主要以用于粗低真空测量。

PG-500 配合表头使用

PG-600 通讯型 数字信号直接接入PC机

PG-700开关型 可以直接设定控制点，进行控制

3、热阴极规管

主要型号有ZJ-2系列，ZJ-10系列，ZJ-27系列，B-A规等。

该型规管主要应用于高真空测量。

参考资料来源：百度百科-真空规管

sem通过探测信号来获取样品表面成分信息，扫描电镜可粗略分为镜体和电源电路系统两部分。镜体部分由电子光学系统、信号收集和显示系统以及真空抽气系统组成。

电子光学系统，由电子枪，电磁透镜，扫描线圈和样品室等部件组成。其作用是用来获得扫描电子束，作为信号的激发源。为了获得较高的信号强度和图像分辨率，扫描电子束应具有较高的亮度和尽可能小的束斑直径，信号收集及显示系统。

检测样品在入射电子作用下产生的物理信号，然后经视频放大作为显像系统的调制信号。现在普遍使用的是电子检测器，它由闪烁体，光导管和光电倍增器所组成。

真空系统真空系统的作用是为保证电子光学系统正常工作，防止样品污染，一般情况下要求保持10-4~10-5Torr的真空度。

扫描电镜就是这样采用逐点成像的方法，把样品表面不同的特征，按顺序，成比例地转换为视频信号，完成一帧图像，从而使我们在荧光屏上观察到样品表面的各种特征图像。

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