用SEM测超薄薄膜厚度，如何制样才能保证导电性足够好？

想准确测定厚度还是很麻烦的，关键就在于制样，关于镀层或者薄膜厚度的测定有相关标准的，标准名称我不太记得了，改天给你发过来也行（如果需要），大概意思是说在要测的镀层外面再镀一层镍，然后把材料固化在树脂中，再做截面，或者抛光，然后再测定，关键是不要破坏镀层.关于SiO2不导电的问题，喷金或者喷碳就可以解决.

一般都是需要分散的,否则容易团聚在一起,看不清楚形貌.当然如果你的样品与乙醇有反应就算了. 如果仅仅是观测形貌,SEM就可以,只要粒径不是小到需要高分辨的程度.如果需要对晶体结构有所了解,最好还是做TEM.粉末样品还是比较容易制备的.

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