1、在SEM中,二次电子被二次电子检测器所收集。常用检测器由收集栅、闪烁体、光导管、光电倍增管和前置放大器所组成。闪烁体的表面喷镀铝层,并加上12kV左右的电压。
2、样品受激发产生二次电子后,通过收集栅的电子被该电压加速而入射闪烁体。
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1、在SEM中,二次电子被二次电子检测器所收集。常用检测器由收集栅、闪烁体、光导管、光电倍增管和前置放大器所组成。闪烁体的表面喷镀铝层,并加上12kV左右的电压。
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