采用磁透镜进行聚焦成像。如果被测试样磁性较强,轻则干扰成像,重则被测试样粉末被吸附到镜头上,损坏仪器。
理论上,磁性是物质的一种属性,任何物质都有磁性。因此要求试样完全没有磁性是不可能的,我们只能要求其磁性小于某一范围。如果是热发射sem磁性要求要低一些,如果是场发射sem,则要求就要严格的多。比如铁,钴,镍为铁系元素,其化合物磁性较强,因而一般不能直接测,所以要将有磁性的材料进行消磁处理就可以了。
如果你只是做金属材料中的夹杂等成分,可以不用侵蚀,直接使用背散射观察,然后用EDS进行成分分析
;如果你需要看材料的
基本组织
,第二相等,需要侵蚀,然后SEM观察,同时可在感兴趣的位置进行EDS,包括点、线、面的成分分析。
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