如何解决SEM图像的漂移问题

如何解决SEM图像的漂移问题,第1张

我自己碰到的图像漂移有:

1。样品固定不牢固,或者样品太。因此样品大小要合适,并用导电胶固定牢固。

2。刚放入样品,开始观察时图像漂移较大,可等半小时左右在开始,图像漂移消除或减弱。

3。样品导电性差,荷电现象导致图像漂移不清楚,可降低电压或者样品表面喷金(碳)处理。

4。扫描电镜对中不好导致聚焦过程中图像移动。

5。高倍观察时,环境振动也会导致图像漂移或者浮动。

第一,样品导电,则就对比度问题;第二,样品不导电,或样品过多,或喷金量不够,这时需要喷金时间需要加长,而且样品量最好肉眼略可见即可;第三,样品放在液态导电胶中。 查看原帖>>

可以有3个方法:

1,制样的时候将样品倾斜放置。

2,用倾斜样品台制样,有些SEM样品台配有30,45,60度倾斜的样品台。

3,高级的SEM,可以讲探头本身倾斜,从而获得大角度的SEM图


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