真空机抽真空压力才0.06，而且抽真空很慢？是哪里坏了，什么原因？

抽真空和将一个水池里的水放光是差不多的概念。

你在水池壁上开一个孔，不管这个孔有多小，但是水总归会漏光的，只是快慢的问题，不可能漏不光。引申到抽真空上来说，如果系统没有泄漏，你用再小的真空泵去抽气，系统里面的空气也一定会被抽出，达到真空泵自身的最高真空压力。

但是真空系统多多少少还是会有泄漏的了，包括管路连接处等，不可能100%不泄漏，真空压力上不去或者慢可能是由于泄漏引起的，也有可能是你抽真空前段的过滤被堵塞了造成真空泵抽气流量下降，还有可能是你的真空泵自身内部结构有磨损，比方说油泵油少了，影响泵自身的密封性降低，真空度就上不去。或是说无油旋片泵，里面的旋片磨损了，也造成真空泵密封性降低了。这些相比于你的这个真空系统初期的工作状态都有抽真空慢，真空压力上不去的表现。

是空载吗？带工件的话有可能是工件放气量太大，否则就是一下几点原因。

1有可能是真空室体保养不够，里面有太多的沉积杂物，吸附了大量的气体，解析较慢影响精抽。

2.高真空泵性能下降，如油氧化，油过多或过少。

3.真空室体有很小的漏点，粗抽时不明显，主要影响精抽。可质谱仪简陋或做压升率判断。

希望能对你有所帮助!

1、扩散泵不给力了

用电离规单接到扩散泵泵口，看扩散泵单抽能达到多少，要看抽的时间和极限

2、系统有微漏

慢慢检漏吧，看看保真空时间达不达标

3、箱体太脏

太脏放气量就大了

4、前级不行

机械泵或机械泵加罗茨泵的真空不行，可以用电阻规单独检测前级管道。

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