硅片一般分正面和背面,正面印正银,背面印背银和背铝,烘干烧结后可以使用并测试。光伏用的硅片表面不能有线痕,这种工艺在切割时就定型,用途太阳能发电。而半导体硅片在切割时,硅片两面都有线痕,经抛光研磨后成晶圆,再上光刻胶。
很多纳米管、线等都是在类似的基体上生长,然后直接SEM观察。换句话说,只有纳米材料才会考虑用抛光硅片做样品载台。微米亚微米级别的,浪费,直接双面导电胶带粘即可。抛光是研磨后进一步平整漆面,除去研磨残余条纹,抛光剂使漆面光泽度自然呈现。抛光有很多种,有机械抛光、化学抛光、电解抛光、超声波抛光、流体抛光、磁研磨抛光。
不是。SEM对样品的要求。
1、不会被电子束分解。
2、在电子束扫描下热稳定性要好。
3、能提供导电和导热通道。
4、大小与厚度要适于样品台的安装。
5、观察面应该清洁,无污染物。
6、进行微区成分分析的表面应平整。
7、磁性试样要预先去磁,以免观察时电子束受到磁场的影响。
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