如何解决SEM图像的漂移问题

如何解决SEM图像的漂移问题,第1张

我自己碰到的图像漂移有:

1。样品固定不牢固,或者样品太。因此样品大小要合适,并用导电胶固定牢固。

2。刚放入样品,开始观察时图像漂移较大,可等半小时左右在开始,图像漂移消除或减弱。

3。样品导电性差,荷电现象导致图像漂移不清楚,可降低电压或者样品表面喷金(碳)处理。

4。扫描电镜对中不好导致聚焦过程中图像移动。

5。高倍观察时,环境振动也会导致图像漂移或者浮动。

嘿嘿 这位同学应该刚刚接触到这个sem吧!简单的说吧——由于sem的成像原理是通过detecter获得二次电子和背散射电子的信号,而若样品不导电怎或造成样品表面多余电子或游离粒子的累积不能及时导走,一定程度后就反复出现充电放电现象(charging)。


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