电子束的束斑大小怎么影响扫描电子显微镜的分辨率

电子束的束斑大小怎么影响扫描电子显微镜的分辨率,第1张

一般来说,束斑小的分辨率高。但束斑小相应的束流也小,转化为成像信号的电子也少,而统计噪音是固定的。当信号值低于噪音的3倍时,将无法识别信号代表的信息。信噪比是限制成像分辨率的一个重要基本因素。特殊情况也有大束斑分辨率高的,例如100倍,用最大束斑,就比最小束斑分辨率高。因为在相同的扫描区域,最小的束斑扫描步距太大,很多地方漏扫了,看起来图像边缘轮廓反而很差。因此束斑尺寸和放大倍数协调才会获得最佳分辨率。

这是EDAX公司制造的EDS 采集SEM图像做能谱分析时候的信息,具体如下:

KV 加速电压 :15千伏特

Mag(magnification) 放大倍数:1700倍

TILT 样品台倾斜角度:0°

MicronsPerPixY 样品上编制的每个像素面积:0.071平方微米。可以换算成束斑尺寸,直径大概300nm。


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