SEM制样时样品为什么要干燥

1、高真空环境是分子流，湿的样品不断释放水蒸气，使高真空情况下，真空度很难上升，往往达不到比较优越的条件。2、水蒸气和2000多度高温的钨丝反应，会加速电子枪灯丝挥发，极大降低灯丝寿命。3、对电子束的散射，会造成信号损失4、污染样品

采用低真空模式或环境扫描模式（这两种模式一般都是要通入水蒸气，保持低真空度）。只不过清晰度会差一些，放大倍率倒是不会降低太多，一般1万或3万左右的放大倍数都没问题，主要是与喷金比较，会有些模糊，另外样品非常容易被电子束打的变形，留下烙印。

如果能喷金，显然是喷金后图像质量更好，只有实在不能喷金的样品，例如不能干燥的样品或者是结构尺寸太小（一般小于5nm）的样品，或者要做能谱之类的分析，才考虑不喷金做电镜。

做低真空SEM跟钨灯丝SEM的成本比起来差好几倍甚至十几倍，要比较他们的性能也太不公平了。

钨灯丝电镜如果喷金后观察大约可以有效放大到两万倍以上。低真空电镜虽然标称的分辨能力要强很多，用标准样品的话，上到几十万倍都有可能。但是实际情况受样品的影响很大，能放到多少倍很难说，不一定能比喷金后用钨灯丝电镜看得好。

---