扫描电镜sem的主要原理是什么？测试过程需要重点注意哪些操作

加高压步距要小，加灯丝偏压不能过饱和等。扫描电镜操作规程介绍说明，tm4000扫描电镜使用时，其注意事项是加高压步距要小，加灯丝偏压不能过饱和等，开关机必须有30分钟准备过程。扫描电镜，是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观性貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。

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