SEM制样时喷金为什么要用黄金或铂金类金属

SEM制样时喷金为什么要用黄金或铂金类金属,第1张

金属镀膜法和组织导电法

镀导电膜对于sem有效分析不导电样品有不可缺少

但是导电膜也有可能由于本身的特点造成图像的扭曲甚至假象

一般导电膜无外乎三种材料:Au,Pt,C

专家建议,需要高分辨的情况下,尽量使用Pt或者Pt-Pd合金膜

因为它对图像的扭曲最小。

喷金与喷铬的区别是喷的金属物质不同。喷金的作用是消除扫描电镜观察不导电样品时的荷电效应,主要用于形貌观察。喷铬是利用热喷涂技术将涂层材料送入热源中熔化、并利用高速气流将其喷射到基体材料表面形成覆盖层的工艺。


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