哪位大侠可以解释一下,为什么SEM和TEM的图不一致呢?

哪位大侠可以解释一下,为什么SEM和TEM的图不一致呢?,第1张

这个差异有点大可能是制备扫描样品时,样品团聚造成的,而透射可能是样品分散可以做个对比实验,制备扫描样品时,也采用透射的方法,滴在玻璃片上或是硅片上,再看看形貌,来判断一下什么原因造成的形貌差异

可能有几个原因:

1,大家的制备方法不一样,导致形貌的整齐性不一样。

2,实验的参数条件不一样导致形貌不同。

3,文献里的图片可能只是截取了整齐的那一部分作为图片,并不是全局的图片

1. 光学显微镜以可见光为介质,电子显微镜电子束为介质,由于电子束波长远较可见光小,故电子显微镜分辨率远比光学显微镜高。光学显微镜放大倍率最高只有约1500倍,扫描式显微镜可放大到10000倍以上。

2. 根据de Broglie波动理论,电子的波长仅与加速电压有关:

λe=h / mv= h / (2qmV)1/2=12.2 / (V)1/2 (Å)

在 10 KV 的加速电压之下,电子的波长仅为0.12Å,远低于可见光的4000 - 7000Å,所以电子显微镜分辨率自然比光学显微镜优越许多,但是扫描式电子显微镜的电子束直径大多在50-100Å之间,电子与原子核的弹性散射 (Elastic Scattering) 与非弹性散射 (Inelastic Scattering) 的反应体积又会比原有的电子束直径增大,因此一般穿透式电子显微镜的分辨率比扫描式电子显微镜高。

3. 扫描式显微镜有一重要特色是具有超大的景深(depth of field),约为光学显微镜的300倍,使得扫描式显微镜比光学显微镜更适合观察表面起伏程度较大的样品。

4. 扫描式电子显微镜,其系统设计由上而下,由电子枪 (Electron Gun) 发射电子束,经过一组磁透镜聚焦 (Condenser Lens) 聚焦后,用遮蔽孔径 (Condenser Aperture) 选择电子束的尺寸(Beam Size)后,通过一组控制电子束的扫描线圈,再透过物镜 (Objective Lens) 聚焦,打在样品上,在样品的上侧装有讯号接收器,用以择取二次电子 (Secondary Electron) 或背向散射电子 (Backscattered Electron) 成像。

5. 电子枪的必要特性是亮度要高、电子能量散布 (Energy Spread) 要小,目前常用的种类计有三种,钨(W)灯丝、六硼化镧(LaB6)灯丝、场发射 (Field Emission),不同的灯丝在电子源大小、电流量、电流稳定度及电子源寿命等均有差异。


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