SEMEDX在测表面元素的时候测得多深？拜托了各位 谢谢

二次电子扫描象的分辨本领最高，约等于入射电子束直径，一般为6-10nm深，主要用于测试表面形貌；背散射电子为50-200 nm深，可以测表面形貌，也可以得到表面成分衬度；吸收电子和X射线为100-1000nm深，这些信号主要用来得到表面元素。 查看原帖>>

解释：

abbr. 扫描式电子显微镜（scanning electron microscope）；标准电子组件（Standard Electronic Modules）

n. (Sem)（泰、柬）森（人名）；(Sem)（西、挪）塞姆（人名）

读法：

英 [,es i: 'em]

用法：

SEM-EDS 能谱 能谱分析 扫描电镜

SEM-EDX 分析 能谱分析 能谱仪 谱分析

TSINGHUA SEM 理学院 清华经管学院 清华大学经济管理学院

近义词：

microscope

读法：

英 [ˈmaɪkrəskəʊp]  美 [ˈmaɪkrəskoʊp]

解释：

n. 显微镜

用法：

Scanning electron microscope 扫描电子显微镜 扫描电镜 扫描式电子显微镜 电子显微镜

Digital Microscope 数码显微镜 该相机还支持数码显微 数字显微镜 显微数码

petrographic microscope 岩相显微镜 岩相显微镱  [光] 岩石显微镜

````

应该是景深吧``

焦深计算公式

L= ±[(r/M)-d]/2α 其中：

L: 焦深

r: 显像管最小分辨距离

M：放大倍数

d：入射电子束直径

2α：物镜孔径角。

从上面的式子可以看出影响焦深的因素，其中隐含了工作距离w。物镜孔径角与工作距离和入射电子束直径有关。由于r（显像管的分辨率）和2α都是未知数，实际上不能计算。焦深也只是个人的视觉感受，还是直观的测量一下为好。

又查了资料``显像管最小分辨距离为0.22mm-0.3mm, 孔径角的典型数值为10-2—10-3rad.利用公式L= ±[(r/M)-d]/2α可以计算出在有效放大倍率下的焦深数据。设d=3纳米，孔径角2α=10-2 rad，r=0.3mm。计算焦深如下：

1000倍下为59.4微米。5000倍下为11.4微米。10000倍下为5.4微米。超过100000倍已经超过了有效放大倍率。不能计算。

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