请教薄膜样品做XRD、SEM和原子力显微镜测试的先后顺序？

XRD、SEM和AFM测试没有固定的先后顺序。XRD通常薄膜厚度不够的话，需要剥离研磨制成粉末样品。SEM和AFM根据样品的特性选择一个测试就可以。测试时通常是选择同批次，同条件的几个样品分别去测形貌和组分。按照预约测试时间来安排测试顺序。选购原子力显微镜推荐Park NX-Hivac。

NX-Hivac的优点如下：

1、NX-Hivac 真空自动控制

Hivac 管理器通过一键单击在逻辑和视觉上控制最佳真空条件抽气和排气过程来实现高真空。各个过程通过颜色和图示变化得到直观监控，一键单击后您即可无需操心真空操作顺序。更快速、更简便的真空控制软件使原子力显微镜的使用更便捷更高效。

2、高级自动化特点

NX-Hivac具有大量功能从而能够最大化减少用户输入。换言之，您可以更快速地扫描，提高实验室产量。

3、配备电控载物台的StepScan 自动化扫描

StepScan允许用户能够对器件进行编程从实现而快速便捷地多区域成像。NX-Hivac让您只需五步即可完成样本扫描：扫描、提升悬臂、移动电动平台至用户定义坐标区域、进针及重复扫描。如此可极大地提高生产率，最大化减少用户输入。

想要了解更多原子力显微镜的相关信息，推荐咨询Park原子力显微镜。Park成立至今，致力于新产品和新技术的开发，为客户解决各种技术难题，提供最完善的解决方案。Park的原子力显微镜以高尖端产品质量和快捷优质的售后服务受到广大客户的认可；同时，为了给客户提供高效便捷的售后服务，在北京代表处专门建立有售后服务中心并配有备件仓库，助力客户更好的服务。

可以测。

可以测成分的，牛津仪器纳米分析部推出了可以在SEM里测量薄膜成分和厚度软件系统ThinFilmID。 ThinFilmID是利用EDS测量薄膜结构的成分和厚度。 这项技术是唯一基于SEM和EDS薄膜分析系统。

SEM的工作原理与使用方法 ：

SEM的工作原理 扫描电镜（SEM）是对样品表面形态进行测试的一种大型仪器。

当具有一定能量的入射电子束轰击样品表面时，电子与元素的原子核及外层电子发生单次或多次弹性与非弹性碰撞，一些电子被反射出样品表面，而其余的电子则渗入样品中，逐渐失去其动能，最后停止运动，并被样品吸收。

在此过程中有99%以上的入射电子能量转变成样品热能，而其余约1%的入射电子能量从样品中激发出各种信号。

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